PHÒNG SẠCH ĐIỆN TỬ
Kiểm soát hạt, ESD và tải nhiệt theo thiết bị và quy trình
Môi trường điện tử cần được thiết kế từ mật độ thiết bị, tải nhiệt, yêu cầu ESD, mức sạch và tiện ích kỹ thuật thực tế.
ESD
FFU / HEPA
HVAC & tải nhiệt
PHẠM VI HỆ THỐNG
Kiểm soát hạt
Cấp sạch và phân phối gió theo mức nhạy của sản phẩm và công đoạn.
Nhiệt độ & độ ẩm
Kiểm soát theo tải thiết bị, vật liệu và giới hạn công nghệ.
ESD
Sàn, tiếp địa và biện pháp chống tĩnh điện theo yêu cầu dây chuyền.
Tiện ích kỹ thuật
Khí nén, chân không, điện và các điểm đấu nối kỹ thuật phải được tổ chức đồng bộ.
THIẾT BỊ → TẢI NHIỆT → HVAC
Mật độ thiết bị quyết định cách tổ chức hệ thống kỹ thuật
Không thể chọn HVAC chỉ từ diện tích phòng. Công suất thiết bị, lượng nhiệt tỏa ra, các điểm kết nối kỹ thuật và đường cấp/hồi khí đều ảnh hưởng trực tiếp đến cấu hình hệ thống.
- Xác định mật độ và tải nhiệt thiết bị
- Kiểm tra điểm đấu nối hệ thống tiện ích và không gian bảo trì
- Tổ chức cấp / hồi gió phù hợp
- Giảm tác động bảo trì tới sản xuất
FFU phải được phân bố theo mục tiêu sạch và tải thực tế
Số lượng và vị trí FFU cần được xác định theo diện tích, tải nhiệt, bố trí thiết bị và mức kiểm soát của vùng sản xuất.
BẮT ĐẦU TỪ DÂY CHUYỀN THỰC TẾ
Gửi yêu cầu phòng sạch điện tử
Cho biết sản phẩm, thiết bị, layout, yêu cầu ESD hoặc điều kiện môi trường đang cần kiểm soát.
- Bắt đầu từ dây chuyền và thiết bị thực tế
- Không áp dụng một cấu hình FFU/HVAC chung cho mọi dự án
- Làm rõ yêu cầu trước khi đề xuất giải pháp